标准集团:低温泵的选择优势

通过低温介质将抽气面温度降低到20K以下,抽气面就可以冷凝沸点温度较低的气体,从而抽出大量的气体。


这种利用低温抽气面将气体冷凝的抽气泵叫低温泵,或冷凝泵。


是利用低温介质降低表面温度后将气体冷凝、吸附或是冷凝+吸附;


将被抽空间的压力降低,而获得真空或维持真空状态的装置。


作为完整的抽气系统,低温泵由两部分组成,主体为真空泵体,第二部分为压缩机。


现在得到广泛应用的都是制冷机式低温泵,其核心是低温制冷机。


工作基本流程为:


氦气首先被压缩到高温高压状态;再通过热交换器被冷却为常温氦气;


经纯化后的高纯氦气*后经汽缸完成绝热膨胀,变成低温氦气。


如此不断循环,氦气被不断降温,成为制冷介质—低温氦气。


选择低温泵的优势有:


①洁净,纯无油,抽气范围宽,可快速获得理想的超高真空环境;


②与口径相同的其它真空泵相比,低温泵有更大的抽速,尤其抽出水蒸汽的能力;


③对被抽气体无选择,杂质颗粒而不影响系统工作;


④可以任意角度安装,没有运动部件,不需要前级泵,运行和维护成本低;


⑤暴露大气对系统影响小,压缩机断水后可以自保护,所以可以实现无人值守。


真空系统的设计


真空炉选用低温泵系统,*大的问题就是解决热负载。


真空炉中的热负载主要来自于三方面:


①来自炉体侧的热辐射;


②粘滞流状态下,气体分子携带走热量;


③来自泵口管道的热传导和辐射热量。